000 01288nam a22002537a 4500
001 000028695
003 RuMoIPM
005 20251110132144.0
008 251110s1991 ru ||||| |||| 00| 0 rus d
040 _aRuMoIPM
_brus
_ercr
041 _arus
044 _aru
080 _a621.793.18
245 1 0 _aЛазерная технология напыления многослойных рентгеновских зеркал
_bЧасть 1. Сверхвысоковакуумная установка для напыления рентгеновских зеркал
_c[В. В. Анашин, Н. Г. Гаврилов, Э. П. Кругляков, Н. И. Чхало]
260 _aНовосибирск
_bИЯФ СО АН СССР
_c1991
300 _a10 с.
490 0 _aПрепринты Института ядерной физики СО АН СССР (ИЯФ им. Г. И. Будкера СО РАН)
_v1991, № 59
700 1 _aАнашин, Вадим Васильевич
700 1 _aГаврилов, Николай Гаврилович
700 1 _aКругляков, Эдуард Павлович
700 1 _aЧхало, Николай Иванович
856 4 0 _qapplication/pdf
_uhttp://irbiscorp.spsl.nsc.ru/fulltext/prepr/1991/p1991_59.pdf
942 _cPR
999 _c28695
_d28695