000 01261nam a22002657c 4500
001 000025672
003 RuMoIPM
005 20251117202337.0
008 251105s1988 ru ||||| |||| 00| 0 rus d
022 _a2071-2898 (Print)
022 _a2071-2901 (Online)
035 _abiblionumber
040 _aRuMoIPM
_brus
_ercr
041 _arus
044 _aru
245 _a№ 176. Численное моделирование травления полимеров в кислородосодержащей атмосфере
_cМ. В. Бочковков, Т. М. Махвиладзе, С. Б. Пекарчук, Б. Н. Четверушкин
260 _c1988
490 0 _aПрепринты ИПМ им. М.В. Келдыша / Институт прикладной математики имени М.В. Келдыша Российской академии наук
700 1 _aБочковков, М. В.
700 1 _aМахвиладзе, Т. М.
700 1 _aПекарчук, С. Б.
700 1 _aЧетверушкин, Борис Николаевич
773 0 8 _w000024326
_7nnas
_dМосква: ИПМ им. М. В. Келдыша РАН
_tПрепринты ИПМ им.М.В.Келдыша. - 1988
_x2071-2898 (Print)
942 _cPR
999 _c25672
_d25672