TY - BOOK AU - Анашин,Вадим Васильевич AU - Гаврилов,Николай Гаврилович AU - Кругляков,Эдуард Павлович AU - Чхало,Николай Иванович TI - Лазерная технология напыления многослойных рентгеновских зеркал: Часть 1. Сверхвысоковакуумная установка для напыления рентгеновских зеркал T2 - Препринты Института ядерной физики СО АН СССР (ИЯФ им. Г. И. Будкера СО РАН) PY - 1991/// CY - Новосибирск PB - ИЯФ СО АН СССР UR - http://irbiscorp.spsl.nsc.ru/fulltext/prepr/1991/p1991_59.pdf ER -