TY  - BOOK
AU  - Бочковков,М.В.
AU  - Махвиладзе,Т.М.
AU  - Пекарчук,С.Б.
AU  - Четверушкин,Борис Николаевич
TI  - № 176. Численное моделирование травления полимеров в кислородосодержащей атмосфере
T2  - Препринты ИПМ им. М.В. Келдыша / Институт прикладной математики имени М.В. Келдыша Российской академии наук
SN  - 2071-2898
PY  - 1988///
ER  -