&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Препринты ИПМ им.М.В.Келдыша. &mdash; 1988. &mdash; Москва: ИПМ им. М. В. Келдыша РАН.<br><br>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;№ 176. Численное моделирование травления полимеров в кислородосодержащей атмосфере / М. В. Бочковков, Т. М. Махвиладзе, С. Б. Пекарчук, Б. Н. Четверушкин. &mdash; 1988(Препринты ИПМ им. М.В. Келдыша / Институт прикладной математики имени М.В. Келдыша Российской академии наук). &mdash; ISSN 2071-2898 (Print). &mdash; ISSN 2071-2901 (Online).<br><br><br>Бочковков, М. В.<br>Махвиладзе, Т. М.<br>Пекарчук, С. Б.<br>Четверушкин, Борис Николаевич<br><br>[ SYS NUM: 25672 ]