TY  - BOOK
AU  - Герасименко,Николай Николаевич
AU  - Пархоменко, Юрий Николаевич
TI  - Кремний- материал наноэлектроники: Учебное пособие
T2  - Мир материалов и технологий
SN  - 5-94836-101-2
PY  - 2007///
CY  - Москва
PB  - Техносфера
N1  - Библиогр. в конце гл
ER  -