Герасименко, Николай Николаевич.<br>&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;Кремний- материал наноэлектроники : Учебное пособие / Герасименко Н., Пархоменко Юрий Николаевич. &mdash; Москва : Техносфера, 2007. &mdash; 351 с. : ил. (Мир материалов и технологий). &mdash; ISBN 5-94836-101-2.<br><br> Библиогр. в конце гл.<br><br>Пархоменко, Юрий Николаевич<br><br>УДК: 621.315.592:546.28(07) ; 621.38-181.48(07) <br><br>[ SYS NUM: 21 ]